光刻机产业链相关概念股全梳理（建议收藏保存）

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光刻机产业链相关概念股全梳理（建议收藏保存）

时间：2026-01-15 20:09

今天光刻机板块集体爆发，光刻机产业链复杂，涉及整机、核心部件、光学系统、光刻材料、检测配套等多个环节，

各环节核心概念股如下，今天我们按“环节-标的-核心逻辑”梳理，供大家参考。

（一）整机及核心资本平台：国产化核心受益方

证券简称

证券代码

核心逻辑

张江高科

600895

上海微电子第一大股东（持股10.78%），A股与国产光刻机整机关联度最高的平台；主导产业链生态整合，2025年一季度净利润同比激增147.38%，受益于估值重构（二）核心部件：产业链关键支撑

证券简称

证券代码

核心逻辑

华卓精科

未上市

全球第二家掌握双工件台技术，国内垄断；为上海微电子核心供应商，EUV级工件台定位精度持续提升

富创精密

688409

主导真空腔体与气体传输系统，相关产品进入验证阶段；为光刻机核心零部件“国产替补”，绑定头部晶圆厂

江丰电子

300666

为28nm以下节点研发的钛合金扩散焊接冷却部件已量产，成为光刻机核心零部件关键供应商（三）光学系统：光刻机“眼睛”，技术壁垒极高

证券简称

证券代码

核心逻辑

福晶科技

002222

全球非线性光学晶体绝对龙头，LBO、BBO晶体市占率80%；光刻机光源系统核心材料供应商，间接供应ASML，也是国产光刻机光源唯一定点企业

奥普光电

002338

背靠中科院长春光机所，承担02专项光刻机物镜系统研发；超精密光栅编码器定位精度达0.08nm，EUV反射镜核心研发方

茂莱光学

688502

国内超精密光学元件绝对龙头，28nmDUV物镜面形精度达0.5nmRMS，国内市占率62%，为上海微电子供应物镜系统

波长光电

301421

DUV光刻镜头量产龙头，为上海微电子供应平行光源系统，与福晶科技协同，2025年二季度新增订单同比激增220%（四）光刻材料：量产的核心支撑

证券简称

证券代码

核心逻辑

南大光电

300346

国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业，良率超90%；EUV光刻胶中试线在建，是国产高端光刻胶龙头

凯美特气

002549

高纯光刻气通过ASML子公司认证，供应份额逐步提升；EUV级产品认证推进，配套需求明确

中船特气

688146

高端特种气体领军企业，产品覆盖光刻配套气体，受益于晶圆厂扩产与国产化替代（五）检测与配套设备：保障量产良率

证券简称

证券代码

核心逻辑

芯源微

688037

国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的企业，与光刻机联机作业；适配EUV配套需求，积极拓展中芯国际、长江存储等客户

精测电子

300567

光刻检测设备全覆盖，EUV缺陷检测技术领先，设备进入客户导入阶段，中芯国际合作进展关键

蓝英装备

300293

晶圆清洗设备绝对龙头，为ASML提供EUV清洗设备，技术反哺国内市场，受益于国产光刻机量产配套（六）其他潜力标的

证券简称

证券代码

核心逻辑

炬光科技

688167

激光光学核心技术企业，光场匀化器为光源系统提供关键元器件，与福晶科技协同

芯碁微装

688630

直写光刻设备龙头，差异化技术路线覆盖泛半导体领域，受益于国产替代大趋势

腾景科技

688195

光电子元器件核心企业，产品可应用于光刻机光学系统，技术壁垒高

在这么多全产业链标的当中，我们选择了一个标的（K线图如上）股价整理即将完毕，多头趋势，股价即将向上趋势明显，公司业绩优异，可以长期跟踪关注。

点击下方图片，添加助理，免费立即领取。（建议收藏保存）

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