ViP是维信诺自主研发的无金属掩模版RGB自对位像素化技术,它通过光刻图形化方式定义OLED像素结构,彻底摆脱了FMM(精细金属掩模版)的物理束缚。
Q1:ViP光刻和芯片光刻一样吗?
提到光刻,很多人会自然联想到芯片制造中的高端光刻设备。其实在显示产业中,光刻早已是一项成熟且广泛应用的制造方式,无论是TFT背板,还是面板中的多道图形化工艺,都离不开光刻。
半导体芯片光刻追求的是纳米级(几纳米到十几纳米)的线宽精度,而ViP做的是微米级像素图形化,OLED像素开口通常在几微米到百微米量级,采用的是显示面板行业成熟的光刻设备,精度需求、设备复杂度和成本都远低于半导体纳米级光刻。可以说,用光刻这套成熟工艺来做微米级像素,属于典型的“降维应用”。
Q2:ViP给蒸镀设备带来的变化?
在FMM蒸镀路线中,蒸镀设备的能力围绕三大核心技术展开:蒸镀技术、真空技术、对位技术,其中高精度对位更是核心难点,尤其是当PPI越来越高、基板尺寸越来越大时,对位精度要求和工艺复杂度也随之提升。
ViP 从原理上绕开了这个难题。它通过光刻图形化定义像素,走的是 “自对位”路线:1.先在基板上预先制作隔离柱结构,“圈定”像素位置;2.完成隔离柱后,进行整面蒸镀,将发光材料均匀沉积在整个基板上;3.通过光刻图形化工艺,选择性地去除不需要的材料,只保留目标像素区域内的发光材料


VIP复盘网