事件概述

公司发布2026年一季报。

（一）暗场等新品放量，26Q1营收实现较快增长

2026Q1公司实现收入3.96亿元，同比 34.63%，增速有一定放缓，推测系订单确认节奏影响。分产品来看，我们推测无图形、图形晶圆缺陷检测设备仍是主要收入构成，尤其暗场晶圆缺陷检测设备实现批量销售，2025年收入占比提升明显，是公司营收增长重要驱动力。截至26Q1，公司存货/合同负债分别为30.02/8.81亿元，同比 47.48%/ 46.22%，表明公司新接订单快速增长，在手订单充足。展望后续，随着新产品及现有产品升级迭代产品逐步验证通过，后续收入有望提速，全年维持较高增速预判。

（二）毛利率波动叠加投入加大，26Q1利润端短暂承压

2026Q1年公司实现归母净利润/扣非归母净利润为-0.68/-1.16亿元，亏损同比扩大354%/169%；净利率/扣非归母净利率为-17.16%/-29.33%，分别同比-12.08/-14.63pct，盈利水平出现较大幅度波动。具体来看：1）毛利端：2026Q1公司毛利率为47.77%，同比-10.30pct，我们推测主要系相关新品影响以及先进封装收入占比较高所致，后续有望持续恢复，我们预计26年有望实现毛利率50%左右。2）2026Q1期间费用率为74.03%，同比 6.51pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比 2.14/ 0.28/ 5.34/-1.26pct，主要系公司人员数量扩充，经营投入增加，尤其是研发人员增长，带动研发费用同比 52.21%。

（三）明暗场取得积极进展，光学 电子束 X光三大技术全面覆盖

1）公司原先9大系列设备继续稳固竞争优势，其中市场最关注的暗场检测设备通过验证并实现批量销售，明场检测设备已批量出货至多家国内头部客户开展产线工艺验证和应用开发。2025年公司新增电子束CD-SEM、高深宽比刻蚀结构量测设备（X光）、硅通孔铜填充空隙量测设备（X光）、晶圆平整度量测设备，已出货至头部存储客户验证，其中高深宽比刻蚀结构量测设备通过存储客户验证，形成“光学 电子束 X光”一站式方案能力，产品覆盖度及深度全面提升；2）量检测环节国产化率仅10%，为最急迫环节。2025年公司定增落地，上海及深圳募投项目稳步推进，持续扩充先进产能，进一步夯实公司竞争力，引领国产替代加速。

投资建议

我们维持2026-2028年公司营收预测为30.73、44.05、61.67亿元，分别同比 50%、 43%、 40%，归母净利润预测为3.79、7.09、10.87亿元，分别同比 546%、 87%、 53%，EPS预测为1.08、2.03、3.11元。2026/4/28日股价185.19元对应PE分别为171、91、59倍，维持“增持”评级。

风险提示：扩产不及预期、新品研发不及预期、行业竞争加剧等。