北方华创2025年公司实现营收393.53亿元,同比增长30.85%,其中集成电路设备营收同比增长超50%。归母净利润55.22亿元,同比减少1.77%,主要系1)持续加大研发投入为十五五期间产品突破做充分准备,2025年研发投入同比增长18.76亿元达72.77亿元,研发投入资本化率同比减少7.75个百分点降至34.50%;2)研发、市场拓展与客户服务等核心团队人员大幅增长,全年新增人员4747人(硕士1267人,博士93人);3)新品在客户端验证过程中零部件迭代升级成本增加较多导致毛利率同比减少2.83个百分点降至40.10%。单季度看,25Q4公司营收120.52亿元,环比增长7.99%;归母净利润3.92亿元,环比减少79.63%;四项费用合计金额环比增长20.70亿元增至45.61亿元,四项费用率环比提升15.53个百分点达37.84%。
薄膜:公司已形成PVD、CVD、外延、ALD、电镀和MOCVD设备的全系列布局,2025年薄膜沉积设备营收超百亿元。PVD设备实现逻辑、存储、特色工艺、先进封装等主流晶圆制造场景的全面覆盖,并完成第1000台整机交付。12英寸先进低压化学气相硅沉积立式炉设备面向高端逻辑芯片与存储芯片领域非晶硅、多晶硅薄膜沉积技术,成功攻克高深宽比结构填充、高平坦度薄膜生长和兼容低温工艺三大技术瓶颈,已通过多家领先晶圆厂的严格验证,实现规模量产并持续获得重复订单。
热处理设备领域,公司已形成管式氧化设备、管式退火设备和快速热处理设备的全系列布局,立式炉累计出货量突破1000台。湿法设备领域,公司通过整合芯源微,12英寸湿法设备涵盖单片,槽式和Scrubber三大类型共近10款设备平台,实现湿法全流程工艺覆盖度超97%。中前段单片结合芯源微的单片湿法设备实现SCCO₂、Hot SPM等绝大部分工艺的覆盖;后段单片等设备实现了AIO BASF-R等工艺全覆盖。离子注入设备领域,公司现已推出两款12英寸离子注入设备,其中浸没式设备面向存储和逻辑领域的互补金属氧化物半导体器件的掺杂、加氢钝化、超浅结掺杂、SOI等工艺应用需求。
先进封装领域,公司已构建起覆盖3D集成全流程的完整工艺装备解决方案。TSV电镀设备Ausip T830成功攻克了>20:1等高深宽比结构的无空洞填充难题,片内均匀性稳定控制在1%以内。此外,公司是国内率先完成D2W混合键合设备客户端工艺验证的厂商,同步研发的12英寸W2W混合键合设备Gluoner R50集成纳米级全域对准、精细的界面活化处理、键合波控制及大翘曲晶圆自适应等关键技术,可实现更高对准精度、更高质量的混合键合。
投资建议
北方华创持续加大研发投入,平台型技术能力显著增强,主力设备系列市占率稳步提升,高端新品快速落地形成新增量。我们预计公司2026-2028年营收分别为503.36/628.86/780.47亿元,归母净利润分别为71.75/93.12/119.18亿元。维持“强烈推荐”评级。
风险提示


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