近期，光刻机领域动态密集浮现。外部维度，美国推出涵盖90余项行政建议的AI行动计划，核心指向收紧AI芯片对华出口管制，强化半导体贸易限制。这一举措正持续倒逼我国加速光刻机自主化进程，全力突破外部技术壁垒。

向内观察，国产光刻机突破不断。有报导称，一条全自主光刻机整机生产线已完成全流程测试，其产出设备聚焦28纳米及以上制程芯片制造，核心部件实现100%国产化，首批下线设备参数达标，良品率稳定于70%-75%区间，年内将启动小批量交付；14纳米验证机已进入实验室调试阶段。

此外，EUV光刻机也有突破。就在今年4月，中科院上海光机所林楠团队研发的固体激光LPP-EUV光源技术，能量转换效率达到3.42%，接近商用光源效率半数，性能超越荷兰与瑞士团队；其采用的技术路线较ASML的LPP技术更简洁、成本更低，预计2025年第三季度进入试产阶段。

国产光刻机的进步，将会带动零部件的供应，接下来就为大家梳理4家核心企业。不过需声明：本内容依据公开信息，仅作产业和公司经营层面科普梳理，不构成任何投资建议。

第一家，汇成真空

国内领先的真空镀膜设备厂商，能为不同行业客户提供定制化、专业化的真空镀膜设备及工艺解决方案。

业务结构上，真空镀膜设备、配件及耗材、以及技术服务营收分别占比74%、20%和5%。真空镀膜设备是指通过真空环境，利用磁控溅射、电子束蒸发等技术，在平板玻璃、汽车零部件、半导体芯片等基材表面镀上金属膜、光学膜等各种膜层的设备。它能明显提升产品的光学性能、耐磨性、防污性等。

公司PVD真空镀膜设备，涵盖真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜三种主流技术，且能实现多种技术组合，满足客户定制化需求。下游包括手机、摄像头、屏幕显示、汽车配件、航空玻璃、磁性材料、半导体电子传感器、光刻掩膜版等领域。客户涵盖苹果产业链中的捷普、富士康等重要厂商，汽车方面还有比亚迪、麦格纳等客户，以及国内的科研院所。

真空镀膜市场的竞争者主要为跨国企业，如美国应用材料、德国莱宝等，公司产品与海外进口产品在主要性能、参数上基本相当，具备较强竞争力。

半导体是下游重要的运用领域，其真空镀膜设备实现从i线到EUV级别的覆盖，采用“离子束抛光 镀膜”双技术路线，成为国内三大光刻机厂商的核心供应商，单套价值可能达数千万，2025年计划配套EUV光刻机进行验证。

此外，光刻掩膜版作为光刻机曝光环节的关键耗材，公司镀膜技术能够为光刻掩膜版的生产提供支持。

业绩方面，历史上一直盈利，且相对稳定。

今年一季度，扣非净利小幅增长12%

第二家，华辰装备

专注于高端精密磨削装备，核心业务是生产全自动精密数控轧辊磨床。主要用于钢铁、造纸、有色金属等行业的轧辊精密加工，同时也是机器人和光刻机方面的铲子公司。

轧辊磨床是专门打磨和修复轧钢机滚筒的关键设备，直接影响钢材轧制效率和质量。公司深耕行业近20年，掌握了从核心部件到整机制造的全套技术，性能达到国际先进水平。尤其在高速高精度磨削领域全球领先，成功打破国外品牌对我国高端轧辊磨床的垄断。

在机器人领域，无论是人形和工业机器人，如关节、丝杠、导轨、谐波减速器等核心部件，都需要达到微米级精度，而磨床是实现这一目标的核心设备。

公司通过自研的P0级精密螺纹磨床，切入人形机器人核心部件。今年三月份官微披露与福立旺签订100台丝杠磨床订单，价值约1.8亿。主要用于螺母螺纹中径小于10mm的行星滚柱丝杠相关零件的螺纹加工，标志着其设备在机器人量产进程中取得关键突破。

光刻机方面，虽然公司产品并非直接应用于光刻机。然而，光刻机设备制造过程中，如光学镜片、精密机械部件等，对于精度要求极高。公司在数控轧辊磨床领域，积累的高精度磨削技术，能为光刻机零部件制造提供技术借鉴与工艺支持。

去年12月，与长春光机所合资成立长光华辰，公司持股72%。长光所作为新中国在光学领域建立的第一个研究所，承担光刻机突破的重任。大口径光学镜片的加工是提高光学镜片分辨率的关键所在，华辰通过合资公司，有望深度参与镜头加工过程中，如提供磨削设备等。

业绩方面，因传统业务具有强周期性，盈利波动较大，2024年净利下降较多。

今年一季度，扣非净利同比增长15%。

第三家，茂来光学

国内领先的工业级精密光学供应商，下游应用非常广，并在光刻机的光源和物镜均有布局。

业务结构上，分精密光学器件、光学镜头和光学系统三大类，营收分别占比44%、27%和27%。

精密光学器，是指对光学材料进行各类工序后得到的单个器件；光学镜头是以光学器件为基础，再根据预设功能进行装配的光学组件；而光学系统包括模组和检测设备。

下游包括生命科学、半导体、AR/VR检测、无人驾驶、航空航天、生物识别六大类，客户都是行业龙头。其中来自半导体业务增长较快，占比接近五成。

光刻机方面，在光源和物镜系统均有布局。光源相关的照明系统，其高精度光学器件加工与检测技术研究已进入工艺设计阶段，技术国内领先。物镜系统领域，实现了光刻机投影物镜、匀光模块及位移测量棱镜组件的国产化供应，曝光物镜超精密光学元件加工技术已实现产业化，产品应用于365nm的i线光刻机中，能实现亚微米量级的曝光线宽。

业绩方面，除了半导体外的传统业务受经济周期影响较大，整体上还算稳定。

第四家，福晶科技

全球激光晶体龙头，最早于1990年由中科院福建物质结构研究所成立。目前是全球最大的LBO、BBO晶体供应商，全球市占率接近80%。并能为EUV光源提供非线性光学晶体、透镜等核心元件。

业务结构上，晶体元器件、精密光学元件、激光器件、激光晶体元器件四大块，营收分别占比35%、27%、19%和18%。

产品主要用于固体激光器、光纤激光器的制造。部分精密光学产品应用于光通讯、AR、激光雷达和科研等领域。产品较为高端，盈利能力较强。毛利率超50%，净利率超20%。

光刻机领域，曾通过欧洲代理向ASML提供极其少量光学元件。控股子公司福创光电有开展衍射光学元件研究和生产，其生产的LBO、BBO等非线性光学晶体可用于激光器中，通过非线性光学过程对激光波长进行变频，产生适合光刻的特定波长光源，为光刻机光源系统提供支持。

另外子公司至期光子研发的纳米级超精密光学产品，属于半导体和精密科学仪器领域的核心技术，其高精度物镜与成像镜组可能为光刻机物镜系统的研发，提供一定的技术支持和产品配套。

业绩方面，以技术为主导的国企，经营风格稳健，净利较为稳定。

小  结

汇成真空专注真空镀膜设备，覆盖i线至EUV级别，计划2025年配套EUV验证；华辰装备生产高端精密磨削装备，其技术支持光刻机零部件制造，合资公司有望参与光源镜头加工；茂来光学供应精密光学产品，布局光刻机光源和物镜，物镜已用于i线光刻机；福晶科技作为全球激光晶体龙头，产品支持光刻机光源与物镜系统，曾向ASML供应少量元件。